4 种不同的光刻技术

平版印刷是一种将二维图案转移到平面上的技术。根据所需的结果,可以使用多种光刻方法。本博文将介绍四种不同类型的光刻技术及其应用。 

不同类型的光刻技术

当图案需要沉积时,光刻技术是一种利用紫外线将几何图案转移到薄膜或基底上的工艺。具体做法是在一块材料上旋转一层光刻胶,然后将光刻胶暴露在紫外线下。在光刻胶曝光之前,会在基底上放置一个掩膜,以阻止某些区域被光照到。最后,在水性溶剂的帮助下,去除未加工区域,几何图案就被消除了。制作图案薄膜的主要原因之一是为了保护基底,但也可能有其他原因。   

电子束光刻技术

电子束光刻(e-beam lithography 或 EBL)是在需要极高分辨率或独特设计的基底表面上转移图案。电子束光刻是一种速度较慢的光刻工艺,成本较高,但能获得高标准的效果。 

离子束光刻技术

离子束光刻(聚焦离子束光刻或 IBL)是一种利用聚焦离子束在基底表面形成微小纳米结构的工艺。这种工艺用于制造电路板等物品,通常用于半导体行业。  

光学平版印刷(光刻技术)

光学光刻,又称光刻,是一种微细加工工艺,包括在进行其他加工(沉积或蚀刻)之前,选择性地去除薄膜的一部分。在 Playtpus Technologies,我们的 光刻工艺 可使用金属掀离或湿法蚀刻最终完成。上述每种方法都可用于将光刻胶图案转移到薄膜上。 

  • 金属剥离是将薄膜沉积在图案光刻胶上,然后将光刻胶溶解,使图案显现出来的过程。
  • 湿法蚀刻是在金属膜上沉积光刻胶。用特定的液体化学品去除部分金属,然后用溶剂去除光刻胶,以显示图案。

X 射线光刻技术

X 射线光刻 (XRL) 常用于制造半导体器件。它用于去除光刻胶薄膜的特定部分。X 射线用于将几何图案转移到基底上 

鸭嘴兽技术和光刻服务

鸭嘴兽技术公司提供各种 光刻服务 用于多种应用,包括生物传感器、化学传感器、电极和微机电设备。此外,如果您需要,鸭嘴兽科技公司还提供用于光刻工艺的阴性和阳性光刻胶。

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