Aperçu des procédés de fabrication des électrodes interdigitées

Les électrodes interdigitées (IDE) sont fabriquées en combinant deux réseaux d'électrodes adressables séparément, de sorte que la structure d'électrodes résultante est en forme de fermeture éclair ou de peigne.

Utilisés dans une large gamme d'applications de capteurs électrochimiques, les transducteurs interdigités (IDT) construits à partir d'IDE sont privilégiés en raison de la facilité relative et du faible coût du processus de fabrication, ainsi que de la sensibilité élevée des capteurs spécialisés construits autour des composants IDE.

En savoir plus sur les produits d'électrodes interdigitées de Platypus Technologies

L'avantage des configurations d'électrodes interdigitées

La forme en peigne de la configuration interdigitée des électrodes permet à celles-ci d'adhérer l'une à l'autre, ou essentiellement de s'infuser l'une dans l'autre. Ce processus d'infusion minimise la distance entre les électrodes par rapport aux architectures de microlithographie en couche mince plus simples et plus conventionnelles.

Le résultat final est un capteur plus précis, plus performant et plus fiable. La distance réduite entre les électrodes permet une diffusion plus rapide des ions, ce qui se traduit par un meilleur débit de données ainsi qu'une densité de puissance et des performances plus élevées.

Les processus de fabrication des transducteurs numériques

Il existe trois principaux procédés de microfabrication utilisés dans la fabrication de précision des structures d'électrodes interdigitées.

Gravure au laser :

Dans le cas des IDT gravés au laser, un masque photographique précis est conçu numériquement et inscrit sur le substrat grâce à l'élimination par laser du matériau (généralement du chrome) déposé sur la surface.

Gravure ionique réactive :

La gravure ionique réactive (RIE) est une méthode de gravure à sec qui utilise un plasma chimiquement réactif pour enlever soigneusement le matériau qui s'est déposé sur le substrat sous-jacent. Le plasma est généré électromagnétiquement par de puissantes fréquences RF qui forcent les ions à "attaquer" et à enlever la matière de la surface.

Plasma inductif :

Le plasma à couplage inductif (ICP) est généré par une puissante induction électromagnétique, ce qui permet d'obtenir une source de plasma à très haute densité et sans contamination. Le plasma à couplage inductif est ensuite utilisé pour graver avec précision la surface du substrat et produire une architecture interdigitée.

Électrodes à motifs fabriquées sur mesure pour un large éventail d'applications

L'expertise de Platypus Technologies dans la fabrication de transducteurs à électrodes interdigitées s'étend à une gamme variée d'applications de capteurs, notamment :

• Biocapteurs MEMS (bioMEMS)
• Capteurs chimiques
• Biocapteurs
• Dispositifs de laboratoire sur puce
• Transistors à effet de champ

Si votre application nécessite une solution de capteur plus spécialisée, nous contacter pour discuter de la manière dont Platypus Technologies peut développer vos microélectrodes à motifs personnalisés. Notre installation de production de pointe a la capacité de revêtir et de modeler divers métaux (Au, Ag, Pt, Ni, Ti, Al) sur des substrats en silicium, en verre ou flexibles. Voir notre Page des services pour plus d'informations.