Qu'est-ce que le nettoyage au plasma ?

Les molécules de gaz réactives forment ce que l'on appelle le plasma. Les ions et les électrons du plasma sont utilisés pour éliminer les contaminants organiques indésirables. Les particules indésirables sont éliminées par un système de vide. Cette procédure de nettoyage crée un processus de stérilisation idéal. En outre, le nettoyage au plasma élimine le besoin de solvants coûteux puisque les surfaces des substrats peuvent être nettoyées par une réaction chimique au sein des molécules de plasma.  

L'utilisation du plasma dans la fabrication des semi-conducteurs présente de nombreux avantages. Tout d'abord, il s'agit d'une méthode de nettoyage des substrats facile et pratique. Le nettoyage au plasma est effectué dans une chambre fermée avec plusieurs sources de gaz et un vide. La durée et d'autres paramètres peuvent être réglés par l'utilisateur pour obtenir le cycle de nettoyage souhaité. Les propriétés du substrat peuvent être améliorées grâce à ce processus en améliorant l'adhérence et la mouillabilité et en augmentant l'énergie de surface.

Comment cela fonctionne-t-il ?: 

La couleur du plasma peut indiquer le type de gaz réactif utilisé pour former le plasma. Par exemple, une couleur violette est créée lors de l'introduction d'azote dans la chambre. La vidéo ci-dessous présente un cycle de traitement au plasma avec de l'azote et de l'oxygène :  

Les substrats à l'intérieur de la chambre sont nettoyés par le gaz violet. Ce plasma violet élimine les contaminants organiques de la surface.  

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