¿Qué es la limpieza con plasma?

Las moléculas de gas reactivas forman lo que se conoce como plasma. Los iones y electrones del plasma se utilizan para eliminar los contaminantes orgánicos no deseados. Las partículas no deseadas se eliminan mediante un sistema de vacío. Este procedimiento de limpieza crea un proceso de esterilización ideal. Además, la limpieza por plasma elimina la necesidad de disolventes caros, ya que las superficies de los sustratos se pueden limpiar mediante una reacción química dentro de las moléculas de plasma.  

Utilizar plasma en la fabricación de semiconductores tiene muchas ventajas. En primer lugar, crea un método de limpieza de sustratos fácil y cómodo. La limpieza con plasma se lleva a cabo en una cámara contenida con múltiples suministros de gas y vacío. El usuario puede ajustar la duración y otros parámetros para conseguir el ciclo de limpieza deseado. Las propiedades del sustrato pueden mejorarse mediante este proceso, mejorando la adherencia y la humectabilidad y aumentando la energía superficial.

Cómo funciona: 

El color del plasma puede indicar qué tipo de gas reactivo se está utilizando para formar el plasma. Por ejemplo, se crea un color púrpura cuando se introduce Nitrógeno en la cámara. Eche un vistazo al siguiente vídeo para ver un ciclo de tratamiento de plasma con nitrógeno y oxígeno:  

Los sustratos dentro de la cámara se están limpiando a través del gas púrpura. Este plasma púrpura elimina los contaminantes orgánicos de la superficie.  

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