Abstimmung der Photoresist-Haftung mit HMDS: Ein tiefer Einblick in die Photolithographie

In der Halbleiterfertigung und der Mikroherstellung ist die Fotolithografie eine wichtige Technik, mit der komplizierte Muster auf Substratoberflächen erzeugt werden. Das Strukturierungsverfahren wird häufig in der Elektronik, Mikrofluidik und Sensorik eingesetzt und bildet eine Schutzschicht, die vor weiteren Herstellungsprozessen und mechanischer Abnutzung während der Endanwendung schützt. Um diese Muster zu erzeugen, werden eine Maske und ein Fotolack auf das Substrat aufgebracht und belichtet. Nach der Belichtung wird der Fotolack mit einer chemischen Lösung entwickelt, und die nicht belichteten Teile des Fotolacks werden aufgelöst, so dass das gewünschte Muster entsteht.

Wie HMDS in der Oberflächenwissenschaft verwendet wird

Hexamethyldisilazan (HMDS) ist eine farblose, brennbare Flüssigkeit mit einer einzigartigen chemischen Struktur. In der Oberflächenwissenschaft wird es häufig als Grundierungsmittel verwendet, um die Oberflächen von Siliziumwafern zu behandeln und sie für die Haftung mit einem Fotolack besser geeignet zu machen. HMDS wird auch häufig als Vor- und Nachbehandlungsmethode für Oberflächenbeschichtungen verwendet. In diesem Blogbeitrag werden wir uns ansehen, wie HMDS in der Oberflächenwissenschaft eingesetzt wird und welche Vorteile dies mit sich bringt.

Funktionalisierung von Oberflächen mit fluorierten Silanen für die Mikrofluidik

Die Mikrofluidik hat sich in den letzten Jahren zu einem leistungsfähigen Instrument entwickelt, insbesondere in den Bereichen Biotechnologie, Chemie und Materialwissenschaften. Dabei geht es um die sorgfältige Kontrolle winziger Flüssigkeitsvolumina, in der Regel nur wenige Pikoliter, in Kanälen im Nanomaßstab. Trotz ihrer geringen Größe sind die potenziellen Anwendungen mikrofluidischer Geräte enorm. Wie bei den meisten mikro- und nanoskaligen Konstruktionen kann die Entwicklung mikrofluidischer Geräte jedoch eine Herausforderung darstellen. 

Funktionalisierung von Substraten mit kundenspezifischen Metallbeschichtungen

Metallbeschichtungen werden in verschiedenen Branchen und Anwendungen eingesetzt, um die Eigenschaften und die Leistung eines Substrats zu verbessern. Durch das Hinzufügen einer Metallbeschichtung können unter anderem das Aussehen und die Widerstandsfähigkeit eines Materials verbessert werden, so dass es sich für verschiedene Anwendungen eignet, z. B. für Elektronik, medizinische Implantate und Transportkomponenten.

Selbstorganisierende Monoschichten in der IR-Spektroskopie

Die Infrarotspektroskopie, in der Regel die Infrarot-Reflexions-Absorptions-Spektroskopie (IRRAS), ist die bevorzugte Methode zur Charakterisierung von ultradünnen Schichten wie selbstorganisierten Monoschichten. Wenn sich Infrarotstrahlung durch eine Probe bewegt, wird ein Teil der Strahlung absorbiert und ein anderer Teil durchgelassen. IR-Detektoren erfassen diese charakteristischen Signale und erzeugen ein Spektrum, das den molekularen Fingerabdruck der Probe darstellt. Dies unterstreicht den inhärenten Wert der IR-Spektroskopie; sie kann dazu verwendet werden, die molekulare Zusammensetzung in Abhängigkeit von den charakteristischen Absorptions-/Transmissionsspektren aufzuklären.