カテゴリー: 有機コーティング

半導体製造や微細加工の分野では、フォトリソグラフィは基板表面に複雑なパターンを形成する不可欠な技術である。このパターニング・プロセスは、エレクトロニクス、マイクロ流体、センサーで頻繁に使用され、最終的なアプリケーションの際に、追加の製造工程や機械的摩耗から保護する層を形成する。これらのパターンを作成するには、マスクとフォトレジストを基板に塗布し、光を照射する。露光後、フォトレジストは薬液を使用して現像され、フォトレジストの未露光部分が溶解し、所望のパターンが形成される。

ヘキサメチルジシラザン（HMDS）はユニークな化学構造を持つ無色の可燃性液体である。 表面科学の分野では、シリコンウェーハの表面を処理し、フォトレジストとの接着に適した状態にするためのプライマー剤として頻繁に使用されている。HMDSの使用は、表面コーティング用途の前処理および後処理方法としても一般的です。このブログでは、HMDSがサーフェスサイエンスでどのように使用されているか、またその利点についてご紹介します。

マイクロ流体工学は近年、特にバイオテクノロジー、化学、材料科学の分野で強力なツールとして台頭してきた。マイクロ流体工学では、ナノスケールの流路の中で、通常数ピコリットルの微量流体を注意深く制御する。規模は小さいが、マイクロ流体デバイスの潜在的応用範囲は広い。しかし、ほとんどのマイクロ・ナノスケールのファブリケーションと同様に、マイクロ流体デバイスのエンジニアリングは困難な見通しとなる可能性がある。 

金属コーティングは、基材の特性や性能を向上させるために、様々な産業や用途で使用されています。金属コーティングを加えることで、材料の外観や抵抗特性などを向上させることができ、電子機器、医療用インプラント、輸送用部品など、さまざまな用途に適しています。

赤外分光法、典型的には赤外反射吸収分光法(IRRAS)は、自己組織化単分子膜のような超薄膜の特性評価に用いられる方法である。赤外線が試料を透過するとき、一部は吸収され、一部は透過する。IR検出器はこれらの特徴的なシグナルを取得し、サンプルの分子指紋を表すスペクトルを生成する。これは赤外分光法の本質的な価値を浮き彫りにするもので、特徴的な吸収／透過スペクトルの関数として分子組成を解明するために使用できる。