금속 리프트 오프 기법으로 패턴 금속 표면 만들기

패턴화된 박막은 현대 기술에 막대한 영향을 미쳤으며, 일반적으로 반도체 소자가 주목을 받고 있지만 금속 표면은 재료 특성화, 바이오센서, 화학 센서 및 미세전자기계시스템(MEMS)과 같은 다양한 첨단 응용 분야에서 중요한 역할을 해왔습니다.

실리콘 공정과 마찬가지로 금속 증착에 사용할 수 있는 다양한 경로가 있습니다. 높은 충실도를 달성하기 위해 금속 코팅 기술은 일반적으로 오염 물질의 존재를 피하기 위해 진공 조건에서 수행됩니다. 이렇게 하면 금속 코팅이 최소한의 결함만 남긴 채 측면 연속성을 유지할 수 있습니다. 그러나 패턴이 있는 금속 표면을 만들 때는 기판을 균일하게 코팅하는 것이 아니라 선택적으로 코팅하는 것이 목표입니다.

다시 말하지만, 소프트 리소그래피에서 나노 임프린팅에 이르기까지 패턴화된 금속 표면 코팅에는 다양한 경로가 있습니다. 이 블로그에서는 금속 리프트오프 기법을 통한 금속 패턴 전송의 기본 사항을 살펴봅니다.

메탈 리프트 오프란 무엇인가요?

금속 리프트오프는 희생 재료를 사용하여 표면에 미세 구조를 만드는 방법입니다. 감광성 폴리머(포토레지스트라고 함)는 전자빔(e-빔) 또는 UV 광원을 사용하여 표면에서 에칭할 패턴의 네거티브를 형성하여 기존 패턴 전사 방식에 일반적으로 사용됩니다. 금속 리프트오프에도 유사한 방법이 사용되지만 공정이 감산이 아닌 첨가식이라는 점이 다릅니다.

리프트오프 기술을 통해 패턴화된 금속 표면을 만드는 기본 원리는 포토레지스트를 기판에 선택적으로 도포하는 것입니다. 그런 다음 기판과 포토레지스트를 덮는 물리적 기상 증착(PVD)과 같은 기술을 사용하여 금속화를 수행합니다. 그런 다음 유기 용매를 리프트오프 매체로 사용하여 포토레지스트와 그 표면을 코팅한 금속 입자를 제거하여 새로 코팅된 표면에 레지스트 마스크의 흔적을 남깁니다.

메탈 리프트 오프 기술의 이점

리프트오프 방식은 건식 식각 기술보다 더 짧은 시간 내에 더 저렴한 비용으로 패턴화된 금속 표면을 제작하는 데 이상적입니다. 또한 건식 에칭 방법은 기판 레이어의 구조적 특성에 영향을 미칠 수 있지만, 금속 리프트오프 기법은 그렇지 않습니다. 또한 습한 조건에서 소재에 대한 접착력이 떨어지는 금과 같은 소재를 사용하여 패턴화된 금속 표면을 제작할 때 습식 화학 에칭을 대체할 수 있는 유용한 방법입니다.

금속 리프트 오프 기술의 단점

금속 리프트 오프의 가장 큰 단점은 성공적인 리프트 오프를 위해 스텐실을 제작하는 데 필요한 복잡성입니다. 증착 방법에 따라 레지스트 측벽을 코팅하면 레지스트가 제거된 후 펜스와 같은 구조가 생성될 수도 있습니다. 이는 스퍼터 코팅에서 흔히 발생하는 부작용입니다.

플래티퍼스 기술로 패턴 금속 표면 만들기

플래티퍼스 테크놀로지스에서는 다음을 개발합니다. 패턴 금속 표면 주문 제작 방식으로 고정밀 전사 기술을 적용하여 절대적인 정확성, 신뢰성 및 반복성을 보장합니다. 도미노의 금속 공급원료에는 알루미늄, 구리, 금, 백금, 은이 포함되며 기판에는 세라믹, 유리, 플렉시블 필름, 실리콘이 포함됩니다. 더 자세한 정보를 원하시면 금속 코팅 솔루션왜 안될까요? 연락처 오늘 플라티퍼스 테크 팀의 일원이 되시겠습니까?