섀도 마스크를 사용하여 금속 표면 패터닝하기

표면 패터닝은 기판을 매우 정밀하게 수정하는 제작 방법을 설명합니다.

다양한 분야의 과학자들이 세부적인 표면 구조에 대한 필요성을 점점 더 많이 느끼고 있으며, 이러한 표면 패턴을 생성할 수 있는 방법은 다양합니다.

이 블로그에서는 마이크로일렉트로닉스용 박막 부품을 빠르고 반복 가능한 방식으로 제작하는 데 중요한 도구인 섀도 마스크를 사용한 표면 패터닝에 대해 설명합니다.

섀도우 마스크란 무엇인가요?

섀도 마스크는 패턴화된 구멍이 뚫린 금속 시트입니다. 그런 다음 이 시트를 유리, 실리콘 또는 세라믹과 같은 기판 또는 금속 증착 시 플렉시블 필름 위에 놓습니다.

섀도 마스크의 패턴에 따라 금속으로 코팅할 기판의 영역과 코팅하지 않을 영역이 결정됩니다.

섀도 마스킹은 전자빔 금속 증착과 결합하여 원스텝 프로세스 고품질 패턴 전극, 센서, 열선, 본딩 패드 및 기타 마이크로 전자 장치에서 흔히 볼 수 있는 기능을 제작하는 데 사용됩니다.

섀도우 마스크의 장점

유기 잉크가 필요한 스크린 인쇄 방식과 달리 전자빔 금속 증착에 사용되는 섀도 마스크는 순도가 매우 높은 금속을 활용합니다. 따라서 섀도 마스크로 제작된 금속 패턴은 다음과 같은 장점이 있습니다:

• 매우 높은 재현성
• 낮은 표면 거칠기(<5nm)
• 고순도 금속(Au, Pt 및 기타 금속의 경우 >99.999%)

스크린 인쇄된 피처에는 잉크의 잔류 유기 물질이 종종 원치 않는 오염을 일으킵니다. 또한 스크린 인쇄는 가장자리와 표면 특징이 매우 거칠기 때문에 결과물의 반복성과 재현성이 훨씬 떨어집니다.

포토리소그래피 기반 표면 패터닝 방법과 비교하여 섀도 마스킹에는 값비싼 포토마스크, 광활성 재료 또는 핫 플레이트, 스핀코터, 솔벤트 벤치와 같은 고가의 처리 장비가 필요하지 않습니다. 섀도 마스킹은 포토리소그래피에 비해 구현하기 쉽고 비용도 저렴합니다.

섀도 마스크는 상대적으로 해상도가 낮은 애플리케이션(250µm 이상의 대형 피처)에 적합합니다. 공차가 엄격한 미세 피처(1~250µm)를 제작하는 경우 포토리소그래피 기반 방법을 권장합니다.

플래티퍼스 테크놀로지스의 섀도 마스크를 사용한 표면 패터닝

플래티퍼스 테크놀로지스는 설계, 맞춤형 패턴의 섀도 마스크 제작, 전극, 센서, 가열 라인 및 기타 회로 라인을 만들기 위한 금속 증착 등의 서비스를 제공합니다. 당사는 다양한 금속 표면 (Au, Ag, Al, Pt, Ni, Ti, Cr) 및 기판(유리, 실리콘, 세라믹, 플렉시블 필름)을 사용하여 가장 복잡한 프로젝트에 적합한 맞춤형 코팅을 생산할 수 있습니다. 다이싱 및 절단 서비스는 플러그 앤 플레이 애플리케이션을 위한 장치를 단일화합니다. 문의하기 오늘 프로젝트를 논의하세요!