シャドウ・マスクを使った金属表面のパターン化

表面パターニングとは、基板を極めて精密に修正する製造方法を指す。

詳細な表面構造の必要性は、さまざまな分野の科学者にとってますます一般的になってきており、このような表面パターンを作成する手段は数多くある。

このブログでは、マイクロエレクトロニクス用の薄膜部品を迅速かつ再現性の高い方法で製造するための重要なツールである、シャドウマスクによる表面パターニングについて説明します。

シャドウマスクとは？

シャドウマスクは、パターン化された穴が開けられた金属シートである。これらのシートは、ガラス、シリコン、セラミックなどの基板や、金属蒸着中のフレキシブルフィルムの上に置かれる。

シャドーマスク上のパターンは、金属でコーティングされる基材の領域とコーティングされない領域を決定する。

電子ビーム金属蒸着と組み合わせたシャドウマスキングは、次のような方法である。 ワンステッププロセス マイクロエレクトロニクスデバイスで一般的に使用される高品質パターン電極、センサー、ヒーティングワイヤー、ボンディングパッドなどの製造に使用されます。

シャドウマスクの利点

有機インクを必要とするスクリーン印刷法とは異なり、電子ビーム金属蒸着で使用されるシャドウ・マスクは、非常に純度の高い金属を利用する。そのため、シャドウマスクで製造される金属パターンには次のような利点がある：

• 非常に高い再現性
• 低表面粗さ（<5nm）
• 高純度金属（Au、Pt、その他の金属は99.999%以上）

スクリーン印刷された特徴には、インクからの残留有機物質があり、しばしば好ましくない汚染を引き起こす。 さらに、スクリーン印刷では、エッジや表面の特徴が非常に粗くなるため、結果の再現性や再現性が非常に低くなります。

表面パターニングのためのフォトリソグラフィに基づく方法と比較して、シャドウマスキングは、高価なフォトマスク、光活性化材料、ホットプレート、スピンコーター、ソルベントベンチのような高価な処理装置を必要としません。シャドウマスキングは、フォトリソグラフィと比較して実装が容易であり、結果的に低コストとなる。

シャドウマスクは、比較的低解像度（250µmを超える大きなフィーチャー）のアプリケーションに適しています。 微細なフィーチャー（1～250µm）を厳しい公差で製造する場合は、フォトリソグラフィーベースの方法が推奨されます。

プラティパス・テクノロジーズのシャドウマスクによる表面パターニング

プラティパス・テクノロジーズでは、設計、カスタムパターンによるシャドーマスクの製作、金属蒸着による電極、センサー、ヒーターライン、その他回路ラインの製作などのサービスを提供しています。 弊社では 金属表面 (Au、Ag、Al、Pt、Ni、Ti、Cr）および基板（ガラス、シリコン、セラミック、フレキシブルフィルム）を使用して、最も複雑なプロジェクトに適したカスタムコーティングを製造します。 当社のダイシングとカッティング・サービスは、プラグ・アンド・プレイ・アプリケーション用にデバイスを単一化します。 お問い合わせ 今すぐご相談ください！