熱酸化シリコンウェーハ - Si/SiO2ウェーハ

$60.00

シリコンウェハー（直径4″）に湿熱酸化膜（二酸化ケイ素、SiO2、厚さ285nm）をコーティング。

 

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商品コード: SW.100MM.WTO カテゴリー:

説明

  • 両面に湿式酸化熱（二酸化ケイ素、SiO2
  • 酸化膜厚：285nm±5%
  • タイプP
  • ドーパントホウ素
  • 研磨：シングルサイド（SSP）
  • グレードプライム
  • 寸法：直径100mm
  • 厚さ：525±25μm
  • 抵抗率: ≤ 0.005 Ω-cm
  • オリエンテーション
  • セミフラット：2

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