カッティング・サービス
プラティパス・テクノロジーズは、シリコン基板やガラス基板から個々のチップをシングル化するサービスを提供しています。
ウェハーの切断とダイシングは、生産量に関係なく、絶対的な精度が要求される重要なプロセスです。コンセプト実証のための小ロットチップを生成することが目的であれ、大量生産ラインのリードタイムを短縮することが目的であれ、メーカーは切断とダイシングの段階で高いレベルの注意を維持しなければなりません。 これらのサービスは、シリコンウェーハやガラス基板からチップを切り出すのに理想的であり、下流の半導体加工にも有益です。
ダイシング
ダイシングは、半導体のウェハーからダイを取り除く機械的プロセスである。個々のチップは、スクライビングと呼ばれる方法で互いに分離される。スクライビング工程では、圧力をかけて基板表面にスクライブラインを作ります。ウェハーを切り離すには、片側に圧力をかけ、ウェハーをスクライブライン上で割ります。この
プラティパス・テクノロジーズは、ダイヤモンド仕上げのスクライビングホイールを装備した高精度メカニカル・ガラス・スクライビング・マシンを所有・運営しています。この装置は、基板上に明確なスクライブラインを作成するために使用され、ウェハーをきれいに切断することができます。このツールの利点のひとつは、ウェーハを切断した後にエッジを研磨する必要がないことです。 レーザー切断とは異なり、この方法ではシリコンに熱による基板の歪みが生じません。
ダイシングサービスでは、あらゆるガラス板、ミラー、シリコンウエハ基板を切断することができ、オプションで洗浄サービスも提供しています。ガラス切断のデモンストレーションはこちら デモンストレーション.
ご要望に応じて、繊細な部品をほこりやその他の汚染から保護するために、ウェハーまたはガラスに表面保護コーティングを施すことができます。 必要に応じて、この保護表面コーティングは、アセトンまたはエタノールを使用して、切断またはダイシング後に除去することができます。
能力
- 繰り返し精度±0.002″。
- 最大基板サイズ:24″x24
- 最小ダイサイズ:5mm x 5mm
- 基板厚み:0.2mm~1mm
- 直線(x-y)形状のみ。
カスタム・プロジェクトについてご相談ください。