표면 패터닝에 포토리소그래피 사용

포토리소그래피란 무엇인가요?

포토리소그래피는 광학 리소그래피 또는 UV 리소그래피라고도 하며, 박막의 일부 또는 기판의 표면 패터닝을 위해 미세 가공에 사용되는 공정입니다. 포토리소그래피는 빛을 사용하여 포토마스크에서 감광성 화학 포토레지스트 또는 기판의 레지스트로 기하학적 패턴을 전송합니다.

그런 다음 일련의 화학 처리를 통해 노출된 표면을 조각하여 재료에 패턴을 만듭니다. 또는 포토레지스트 아래 소재에 원하는 패턴으로 새로운 소재를 증착할 수도 있습니다.

포토리소그래피는 투사된 이미지를 직접 또는 간접적으로 빛에 노출시켜 에칭을 형성한다는 점에서 사진과 일부 유사합니다. 포토리소그래피는 인쇄 회로 기판을 만드는 데 사용되는 고정밀 버전의 기술에 비유할 수 있습니다.

포토레지스트 패턴은 두 가지 기술 중 하나를 사용하여 얇은 금속 필름에 전사하여 표면 패터닝에 사용됩니다:

습식 에칭, 금속 필름 위에 포토레지스트가 증착되고 패턴이 형성됩니다. 그런 다음 필름으로 덮이지 않은 부분은 화학 물질을 사용하여 제거합니다.

메탈 리프트 오프, 패턴이 있는 포토레지스트 위에 얇은 금속 필름을 얹은 다음 포토레지스트 자체를 녹여 금속 필름의 패턴을 드러내는 공정입니다. 

포토리소그래피 표면 패터닝의 이점

포토리소그래피는 매우 작은 패턴을 만들기 위한 표면 패터닝에 사용되며, 생성되는 물체의 모양과 크기를 정밀하게 제어할 수 있습니다. 포토리소그래피는 또한 비용 효율적인 방식으로 전체 표면에 패턴을 생성할 수 있습니다. 하지만 포토리소그래피는 항상 평평한 기판과 매우 깨끗한 작동 조건이 필요합니다. 이러한 형태의 표면 패터닝은 매우 비용 효과적이고 효율적입니다.

포토리소그래피를 통한 표면 패터닝의 주요 응용 분야

포토리소그래피를 통한 표면 패터닝은 집적 회로 및 기타 내부 컴퓨터 부품을 형성합니다. 나노나이트와 마이크로 컴퓨터 시스템 및 작은 표면 패터닝이 필요한 모든 애플리케이션을 제작하는 데 사용할 수 있습니다.

포토리소그래피가 귀사의 애플리케이션에 적합한 표면 패터닝 기술인가요?

포토리소그래피를 비롯한 다양한 표면 패터닝 기법을 사용할 수 있습니다. 포토리소그래피는 정밀도부터 비용 효율성에 이르기까지 많은 이점을 제공합니다.

플래티퍼스 기술은 산업 및 학술 분야에 모두 적합한 다양한 금속 코팅 서비스를 제공합니다. Platypus는 클래스 100 클린룸과 포토리소그래피 워크플로우를 갖추고 있어 뛰어난 반복성과 고품질 표면 패터닝이 가능합니다.

플래티퍼스의 표면 패터닝은 새로운 바이오센서 칩, 표면 백금 전극, 유연한 기판의 금 필름 등에 사용되었습니다. Platypus의 포토리소그래피 표면 패터닝 서비스에 대해 자세히 알아보려면 지금 바로 팀에 문의하세요.