포토리소그래피: 마이크로 패브리케이션의 응용 분야

포토리소그래피는 최신 전자 제품, 센서 및 미세 유체학용 기판을 패턴화하는 데 사용되는 중요한 미세 제조 기술입니다. 포토리소그래피는 웨이퍼의 표면을 포토레지스트라고 하는 빛에 민감한 폴리머로 코팅하는 정밀한 형태의 맞춤형 표면 제작 기술입니다. 그런 다음 코팅된 웨이퍼를 마스크에 의해 선택적으로 감쇠되는 빛에 노출시켜 화학적, 물리적 또는 광학적으로 에칭된 잠상 이미지를 남기고 웨이퍼 표면에 영구적인 마이크로 구조 패턴을 제공합니다. 금속 증착 및 에칭 기술과 결합된 포토리소그래피는 광학, 화학 및 바이오 센서, 미세 유체 장치용 마이크로 구조를 제작하는 다용도 방법입니다.

포토리소그래피 이해

무어의 법칙에 따르면 고밀도 집적 회로(IC)는 2년마다 온칩 트랜지스터 수가 두 배로 증가합니다. 현재 제조업체가 포토리소그래피를 통해 1마이크로미터(µm)의 낮은 피처 해상도로 IC를 개발할 수 있다는 점을 고려하면 인쇄 전자 제품 개발 속도가 느려지거나 나노급 처리 수준으로 향상되어야 한다는 것은 당연한 결과입니다.

나노 기술은 마이크로 제조의 차세대 개척지 중 하나이지만, 엔지니어들은 아직 마이크로 스케일에서 가능한 것에 대해 표면을 긁어모으고 있을 뿐입니다. 포토리소그래피는 리소그래피 문자를 발전시키는 데 중요한 역할을 하며, 특히 자외선(UV) 파장(일반적으로 365nm)을 사용한 i-라인 노출과 같은 기술이 중요합니다. 또한 포토리소그래피 서비스 제공업체는 마이크로 스케일 표면 제작의 전제 조건인 까다로운 에폭시 및 금속 리프트오프 레지스트에 대한 전문성을 점점 더 높일 수 있게 되었습니다.

이를 통해 엔지니어와 과학자에게 새로운 차원의 표면 해상도와 정밀도를 제공하는 포토리소그래피 솔루션을 제공할 수 있습니다.

포토리소그래피의 응용 분야

패턴 골드 전극

포토리소그래피는 높은 지형적 균일성과 측면 정밀도, 금의 고유한 전도성을 활용하여 고급 분석 애플리케이션 및 센서 개발을 위한 고성능 전기 소자를 생성하는 패턴화된 금 전극 생성에 핵심적인 역할을 합니다. 패턴 금 전극의 주요 개발 분야에는 첨단 미세전자기계 시스템(MEMS) 또는 바이오MEMS로 구성된 고유한 바이오센서가 포함됩니다.

광학 필터

간섭 필터는 포토리소그래피 워크플로, 특히 안정적인 단색 광원을 안정적으로 해결해야 하는 애프터마켓 i라인 시스템에서 매우 중요한 요소입니다. 그러나 포토리소그래피는 선택적 고해상도 표면 패턴을 가진 OEM 필터를 생성하는 데 있어서도 점점 더 중요한 역할을 하고 있습니다. 또한 깨끗한 금 기판은 광학 현미경 및 표면 플라즈몬 공명(SPR)과 같은 고급 이미징 기술에 사용하기 위해 준비되는 경우가 많습니다.

마이크로웰 및 마이크로필러 어레이

생물학 및 세포 이미징에서는 생명 과학 애플리케이션을 위한 다양한 기능을 구현하는 패턴 기판으로 구성된 마이크로웰 어레이를 점점 더 많이 활용하고 있습니다. 예를 들어 포토리소그래피로 생성된 허니콤 어레이는 입자 분리를 위한 액체 필름을 안정화시키는 데 유용합니다.

플래티퍼스 테크놀로지스의 포토리소그래피 서비스

Platypus Tech는 기판 패터닝과 같이 고도로 병렬적인 워크플로와 관련된 비용 및 시간 부담을 잘 알고 있습니다. 그러나 고정밀 맞춤형 표면이 필요하기 때문에 최종 사용자는 쉽게 구할 수 있는 솔루션의 기능을 뛰어넘는 솔루션을 찾아야 하는 부담을 안고 있는 경우가 많습니다. 그렇기 때문에 도미노는 진정한 맞춤형 포토리소그래피 서비스 다양한 연구 개발(R&D) 분야에서 사용자의 요구를 충족시키기 위해 노력하고 있습니다. 더 자세히 알고 싶으신가요? 문의하세요 파트너십 기회 오늘.