Die Bedeutung von Reinräumen für die Metallabscheidung und Mikrofertigung

Industriezweige, in denen Nanopartikel Fertigungsprozesse beeinträchtigen können, müssen einen Reinraum nutzen, um die größtmögliche Genauigkeit zu gewährleisten. In Reinräumen werden Feuchtigkeit, Verschmutzung, Temperatur und Druck in den Einrichtungen kontrolliert.

Da Innovationen die Metallabscheidung und Mikrofertigung vorantreiben, stehen Unternehmen zunehmend unter dem Druck, zu gewährleisten, dass ihre Anlagen einem schnellen Wachstum standhalten können. Reinräume werden häufig bei der Metallabscheidung eingesetzt und sind in verschiedenen Größen und Komplexitäten erhältlich, wobei einige Prozesse eine stärker kontrollierte Umgebung erfordern als andere.

Spezifische Normen für Reinräume werden von Regierungen auf der ganzen Welt festgelegt und geregelt, und diese Anforderungen sind in der Regel äußerst streng. Reinräume werden verwendet, um das Risiko der Kontamination von Materialien wie Staub und Schmutz in der Atmosphäre deutlich zu begrenzen. Die Internationale Organisation für Normung (ISO) stuft Reinräume in Klassen von eins bis neun ein, wobei die niedrigste Zahl die sauberste Umgebung darstellt.

Was ist Metallabscheidung?

Unter Metallabscheidung versteht man eine Technik, bei der ein metallisches Ausgangsmaterial unter Vakuumbedingungen verdampft und dann auf einem Zielsubstrat abgeschieden wird. Verdampfungstechniken für die Metallabscheidung finden im Hoch- oder Ultrahochvakuum statt, so dass die Dampfphasenmoleküle einen freien mittleren Weg zum Ziel haben.

Verunreinigende Gase in der Vakuumumgebung können zu Molekülkollisionen führen, die die Prozesseffizienz beeinträchtigen und die Planarität der Dünnschicht beeinträchtigen. Bevor das Dünnschichtmaterial in die gasförmige Umgebung gelangt, muss es durch eine Wärmequelle verdampft werden.

Eine Form der Metallabscheidung ist die chemische Abscheidung aus der Gasphase, eine der gängigsten Formen der Vakuumtechnik, bei der durch chemische Reaktionen am Target dünne Schichten entstehen. Dies geschieht durch Erhitzen des Substrats mit Hilfe eines Stroms von Reaktionsgasen.

Die Molekularbahnepitaxie (MBE) ist eine äußerst fortschrittliche Form der thermischen Metallabscheidung. Es handelt sich um einen langsamen Prozess, bei dem durch die allmähliche Sublimation von Startermetallen wie Gold epitaktische Dünnschichten entstehen.

Warum Reinräume für eine erfolgreiche Metallabscheidung unerlässlich sind

Bei der Arbeit mit nanoskaligen Partikeln in der Metallbeschichtung kann selbst das kleinste Staubkorn die Wirkung eines Felsblocks haben. Reinräume sind mit fortschrittlichen Filter- und Vibrationskontrollsystemen ausgestattet, die es den Wissenschaftlern ermöglichen, hochpräzise Messungen durchzuführen und Materialien im Nanomaßstab zu verändern.

Bei Platypus Technologies werden dünne Metallschichten in einer speziellen Reinraumumgebung mit fortschrittlichen Umweltkontrollen hergestellt. Diese Reinraumumgebung trägt dazu bei, die Verunreinigung durch Partikel und Chemikalien zu minimieren und die Auswirkungen von Temperatur- und Feuchtigkeitsschwankungen während der Herstellung von Mikrobauteilen zu reduzieren. Auf diese Weise gewährleisten wir eine hohe Qualität und Reproduzierbarkeit bei der Herstellung von strukturierten Metallschichten für unsere Kunden.

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