금으로 코팅된 열 산화물 웨이퍼

기판: 프라임 등급 열 산화물 실리콘 웨이퍼(직경 100mm, 두께 525µm)

산화물 두께: 285-nm +/- 5%

금속 레이어: 금, 50nm

금 순도: 99.999%

접착 레이어: 티타늄, 2.5nm

수량: 금 코팅 열 산화물 실리콘 웨이퍼 1개(1개)