패턴 전극이란 무엇인가요?

적층 제조(AM)는 기술자가 다양하고 복잡한 프로토타입 부품을 생산할 수 있도록 지원하는 엔지니어링 패러다임으로 성장하고 있습니다. 여기에는 과학용 미세 전자 기계 시스템(MEMS)을 위한 소규모 패턴 전극도 포함됩니다.

인쇄 전극-기본 사항

일반적으로 감지 소자를 위한 집적 회로는 전자 또는 X-선 빔에 노출된 포토레지스트를 사용하여 선택적 승화를 통해 생성됩니다. 기존 인쇄 공정에는 내광성 용매를 사용한 전처리와 현장 수정(예: 화학적 에칭)을 포함한 많은 단계가 있습니다. 이는 결과 품질을 보장하기 위해 오염이 미미해야 하는 바이오센싱 또는 화학 센서 칩용 패턴 전극의 경우 문제가 될 수 있습니다. 또한 패턴 전극의 표면 형태는 전기적 성능에 뚜렷한 영향을 미쳐 감지 효율에 영향을 미칠 수 있습니다.

증착을 통해 생산된 나노 패턴 전극은 전기화학 분석, 바이오MEMS 및 기타 초고감도 전기 플랫폼에 대한 매력적인 전망입니다. 이제 스크린 인쇄에서 전자빔 증착에 이르는 다양한 적층 제조 기술을 사용하여 나노 패턴 전극을 생성할 수 있습니다.

패턴 전극을 위한 전자빔 증착

전자빔 물리 기상 증착(EBPVD)은 표면 거칠기가 낮고 측면 충실도가 높은 기능성 기판에 전도성이 높은 3차원 패턴을 제작하는 데 선호되는 방법 중 하나입니다. 티타늄 접착층과 완전 순도(<99.999%) 금 양극이 있는 초청정 유리 기판과 엄격하게 제어된 증착 속도를 사용하면 나노 단위까지 거칠기가 낮은 고감도 패턴 전극을 생산할 수 있습니다. 유리 기판의 광학적 투명성 덕분에 화학적으로 순수한 티타늄 중간체에 의해 기판에 강력하고 깨끗하게 부착된 전도성 금 층을 시각적으로 쉽게 감지할 수 있습니다. 이는 현미경 또는 분광학을 통한 실험의 현장 시각화에 많은 이점을 제공합니다.  

Platypus Technologies는 우수한 반복성을 보장하기 위해 전자빔 처리 기능을 미세 조정하여 연구용 골드 패턴 전극의 독점 라인을 출시할 수 있었습니다. 여기에는 다음이 포함됩니다:

• 저항 전극: 다양한 재료의 시트 저항, 임피던스 또는 전도도를 측정하는 데 이상적인 5개의 프로브 마이크로 전극입니다.
• 3개의 프로브 전극: 바이오 및 화학 센서 R&D용으로 설계되었습니다.
• 디스크 전극: 전기화학 임피던스 분광법(EIS) 또는 순환 전압 측정에 사용됩니다.

플래티퍼스 테크놀로지스의 패턴 전극

과학적 이미징을 위한 다양한 기성 솔루션을 제공하지만, Platypus Tech의 전문 분야는 독점적인 애플리케이션을 위한 맞춤형 코팅입니다. 주문 제작에 대한 자세한 정보를 원하시면 지금 바로 문의하세요. 패턴 전극또는 바이오MEMS 또는 화학 감지 문제에 대한 맞춤형 솔루션을 찾고 계신다면.