パターン電極とは？

アディティブ・マニュファクチャリング（AM）は、技術者がさまざまな複雑なプロトタイプ部品を製造することを可能にする、成長中のエンジニアリングパラダイムである。そのひとつが、科学用微小電気機械システム（MEMS）用の小型パターン電極である。

プリント電極-基礎

一般に、センシング素子用の集積回路は、電子ビームまたはX線ビームに曝されるフォトレジストを用いた選択的昇華によって生成される。従来の印刷プロセスには、耐光性溶剤による前処理や、その場での改質（化学エッチングなど）など、多くの工程がある。これは、バイオセンシングや化学センサーチップを意図したパターン化電極では問題となり得る。さらに、パターン化された電極の表面形態は、電気的性能に明らかな影響を与え、検出効率に影響を与える可能性がある。

蒸着によって作製されるナノパターン電極は、電気化学アッセイ、バイオMEMS、その他の極めて高感度な電気プラットフォームにとって魅力的なものである。現在では、スクリーン印刷から電子ビーム蒸着まで、さまざまなAM技術を使用して生成することができる。

パターン電極のための電子ビーム蒸着

電子ビーム物理蒸着法（EBPVD）は、機能性基板上に導電性の高い3次元パターンを低表面粗さと高横方向忠実度で作製するのに適した方法の一つである。チタン接着層を持つ超清浄ガラス基板と完全純度（99.999%未満）の金陽極を用い、さらに蒸着速度を厳密に制御することで、EBPVDはナノスケールまで低粗度の高感度パターン電極を得ることができる。ガラス基板の光学的透明性は、化学的に純粋なチタン中間体によって基板に強くきれいに接着された導電性金層の容易な視覚的センシングを可能にする。これは、顕微鏡や分光法による実験のその場可視化に多くの利点をもたらす。  

プラティパス・テクノロジーズでは、優れた再現性を確保するために電子ビーム加工能力を微調整し、研究グレードの金パターン電極の独自ラインを立ち上げることができました。これらには以下が含まれます：

• 抵抗電極：様々な材料のシート抵抗、インピーダンス、導電率の測定に最適な5プローブ微小電極。
• 3プローブ電極：バイオ・化学センサーの研究開発用に設計。
• ディスク電極： 電気化学インピーダンス分光法（EIS）またはサイクリックボルタンメトリー用。

プラティパス・テクノロジーズのパターン電極

プラティパステックでは、科学イメージング用に多くの既製ソリューションを提供していますが、独自のアプリケーションのためのカスタムコーティングを得意としています。オーダーメイドのコーティングについての詳細は、こちらまでお問い合わせください。 パターン電極また、バイオMEMSやケミカルセンシングの問題に対するオーダーメイドのソリューションをお探しの場合にもご利用いただけます。