메탈 리프트 오프를 통한 패턴 생성

기판에 패턴화된 금속을 제작하는 방법은 다양합니다. 금속 리프트오프는 세 단계로 구성된 제조 방법 중 하나에 불과합니다: 1) 대상 기판에 감광성 폴리머 필름을 패터닝하고, 2) 패턴 폴리머 필름에 금속을 증착하고, 3) 용매를 사용하여 폴리머를 제거합니다.  

포토리소그래피는 먼저 디자인을 기판에 전사하는 데 사용됩니다. 이 작업은 포토레지스트를 통해 이루어지며, 포토레지스트는 기판에 접착되고 자외선에 노출됩니다. UV 노출은 빛에 민감한 포토레지스트에 영향을 주어 디자인을 전송하도록 조정됩니다.  

패턴이 형성되면 기판을 얇은 금속 층으로 코팅할 수 있습니다. Platypus Technologies에서는 물리적 기상 증착(PVD)을 통해 금속을 증착합니다. 금속의 두께는 1nm에서 500nm까지 맞춤 설정할 수 있으며, Au, Ag, Al, Cu, Cr, Pt, Ni, Ti, W 등 다양한 금속을 증착할 수 있습니다. 금속이 패턴화된 기판에 증착되면 금속 리프트오프를 시작할 수 있습니다.  

금속을 들어올리는 동안 가열된 용매를 사용하여 기판에서 원하지 않는 영역을 제거하여 뚜렷한 패턴 피처를 생성합니다. 따라서 금속이 필요하지 않은 기판 영역에서 들어 올려지거나 제거되어 패턴화된 금속 흔적이 남게 됩니다.  

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