メタル・リフトオフでパターンを作る

基板上にパターニングされた金属を作るには、さまざまな方法がある。メタルリフトオフは、3つのステップを伴う製造方法のひとつに過ぎない：1）感光性ポリマー膜をターゲット基板上にパターニングする、2）パターン化されたポリマー膜上に金属を蒸着する、3）溶媒でポリマーを除去する。  

フォトリソグラフィはまず、基板上にデザインを転写するために利用される。これはフォトレジストを通して行われ、フォトレジストは基板に付着し、UV露光を受ける。UV露光は、感光性フォトレジストに影響を与えることによってデザインを転写するように調整される。  

パターンが形成されると、基板は金属の薄い層でコーティングされます。プラティパス・テクノロジーズでは、金属は物理蒸着法（PVD）で蒸着されます。Au、Ag、Al、Cu、Cr、Pt、Ni、Ti、Wなど、さまざまな金属を蒸着することができます。パターニングされた基板上に金属が蒸着されると、メタルリフトオフを開始することができます。  

メタルリフトオフでは、加熱溶媒を使用して基板の不要領域を除去し、明確なパターン形状を形成する。こうして、基板の不要な領域から金属がリフトオフまたは除去され、パターン化された金属痕が残る。  

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