アルミニウム薄膜

顕微鏡スライド上のアルミニウム

シリコンウェーハ上のアルミニウム

シリコンチップ上のアルミニウム

アルミニウムは最も広く使われている金属のひとつである。アルミニウムは軽量で、熱と電気をよく通し、反射率が高い。 アルミニウムは望遠鏡、ヘッドランプ、LEDなどの反射光学部品によく使われている。アルミニウム皮膜の空気界面には薄い酸化物の表面層が形成され、金属を腐食から守っている。

研究開発において、アルミニウム薄膜は以下のような用途で使用されている：

  • 陽極酸化によるナノポーラス酸化アルミニウムの合成
  • バイオセンサー用酸化アルミニウムナノポア
  • プラズモニック・デバイス
  • 反射コーティング
  • パターン化表面電極（フィンガー型、インターディジット型）
  • UV/visおよびIR分光法による材料分析用基板
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