Oblea de silicio de óxido térmico - Oblea de Si/SiO2

Descripción

• Óxido térmico húmedo (dióxido de silicio, SiO2) en ambas caras
• Espesor del óxido: 285-nm +/- 5%
• Tipo: P
• Dopante: Boro
• Pulido: Una cara (SSP)
• Grado: Prime
• Dimensiones: 100 mm de diámetro
• Espesor: 525 +/- 25 μm
• Resistividad: ≤ 0,005 ohm-cm
• Orientación:
• Pisos SEMI: 2