Beschreibung
- Nasses thermisches Oxid (Siliziumdioxid, SiO2) auf beiden Seiten
- Oxidschichtdicke: 285-nm +/- 5%
- Art: P
- Dotierstoff: Bor
- Polieren: Einseitig (SSP)
- Note: Prime
- Abmessungen: 100-mm-Durchmesser
- Dicke: 525 +/- 25 μm
- Widerstandswert: ≤ 0,005 Ohm-cm
- Orientierung:
- SEMI-Wohnungen: 2