Plaque d'oxyde thermique recouverte d'or

Substrat : Plaquette de silicium oxyde thermique de première qualité (100 mm de diamètre, 525 µm d'épaisseur)

Épaisseur de l'oxyde: 285-nm +/- 5%

Couche de métal : Or, 50 nm

Pureté de l'or: 99.999%

Couche d'adhérence : Titane, 2.5-nm

Quantité: Une (1) plaquette de silicium à oxyde thermique recouverte d'or